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<span style="font-size: 12pt;">★ 由XYZ三軸精密定位滑台模組,搭配一傾斜滑台模組及精密側角滑台形成六軸式的複合功能精密滑台組,適用於單芯對位或光導波產業應用</span> <br /><span style="font-size: 12pt;">★ 單獨拆解模組選購型號 - M6E-2200B-R-[XYZ模組-MXYZ60-ACSR、傾斜滑台模組-MTR60-45R、側角滑台模組-MXG6-50VMR]</span>">
Update:2022.7.21
型號 | M6E-2200B-R | |||||||
規 格 說 明 | 軸向 | X | Y | Z | θx | θy | θz | |
行程 | 粗調 | ± 6.5 mm | ± 6.5 mm | ± 6.5 mm | ± 3 ° | ± 3 ° | ± 4 ° | |
微調 | ± 0.3 mm | ± 0.3 mm | ± 0.3 mm | |||||
精度 | 粗調 | 10 µm | 10 µm | 10 µm | ≒ 29.3" / 刻度 | ≒ 27.8" / 刻度 | ≒ 33" / 刻度 | |
微調 | 0.5 µm | 0.5 µm | 0.5 µm |
滑台進給位置 |
滑台軌道特性說明 |
滑台主要進給方式 |