GAS03系列

★ 超薄型、輕量化平臺-採用Mini stage Xyθ模組化結構，實現無中座的薄且輕的機構
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓，達高剛性、高精度表現
★ 中空結構設計，可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
★ 在各運動軌道加入潤滑系統，提高對位平臺使用的壽命及精度
★ 材料皆經超深冷處理，有效預防變型，大幅提升使用壽命，品質及效能
★ 實行三次元全檢，保證滑台出廠精度與品質

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Update：2023.11.07

型號	GAS03-1000CC-PN	GAS03-1000CC-UPJ	GAS03-1000RS-PN	GAS03-1000RS-UPJ	GAS03-1500CC-PN	GAS03-1500CC-UPJ	GAS03-1500RS-PN	GAS03-1500RS-UPJ
工作台尺寸 (mm)	1000x1000	1000x1000	1000x1000	1000x1000	1500x1500	1500x1500	1500x1500	1500x1500
基座尺寸 (mm)	1200x1200	1200x1200	1200x1200	1200x1200	1700x1700	1700x1700	1700x1700	1700x1700
高度 (mm)	160	160	160	160	160	160	160	160
行程 (mm)	±15x±15	±15x±15	±15x±15	±15x±15	±15x±15	±15x±15	±15x±15	±15x±15
角度 (θ)°	±2°	±2°	±2°	±2°	±1°	±1°	±1°	±1°
工作台材質	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁
表面處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理
基座材質	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁	杜拉鋁
基座表面處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理	黑色陽極處理
螺桿規格	Ø10-P4	Ø10-P4	Ø20-P2	Ø20-P2	Ø10-P4	Ø10-P4	Ø20-P2	Ø20-P2
動態負載能力 (kgf)	80	80	90	90	85	85	100	100
靜態負載能力 (kgf)	170	170	200	200	180	180	200	200
反覆定位精度 (μm)	±5	±1	±5	±1	±5	±1	±5	±1
平行度 (μm)	150	150	150	150	150	150	150	150
馬達廠牌	GMT	東方	GMT	東方	GMT	東方	GMT	東方
馬達類型	2相步進	5相步進	2相步進	5相步進	2相步進	5相步進	2相步進	5相步進
馬達出軸	□57雙出軸	□60雙出軸	□57雙出軸	□60雙出軸	□57雙出軸	□60雙出軸	□57雙出軸	□60雙出軸
馬達型號	2MS- N57D41A	PKP564 FN24BW	2MS- N57D41A	PKP564 FN24BW	2MS- N57D41A	PKP564 FN24BW	2MS- N57D41A	PKP564 FN24BW
驅動器廠牌	請洽業務	東方	請洽業務	東方	請洽業務	東方	請洽業務	東方
驅動器型號	請洽業務	CVD524-K	請洽業務	CVD524-K	請洽業務	CVD524-K	請洽業務	CVD524-K

特性介绍

♦ 採用了劃时代性模组结構的超薄型平台

在基座、工作台之间的四端平面裝上组合了MINI STAGE XYθ軸滑台组和特殊交叉滚柱轴承的模组之独特性，實现了超薄型結構。

♦ 高刚性、高精度

對於構成模组的MINI STAGE XYθ軸滑台组的特殊交叉滚柱施加了預壓，達到高精度、高剛性的結構。

♦ 超薄型、輕量化、中空結構

採用XYθ模组化結構，實現了無中座、薄而輕的機構，可作為光學式檢查裝置或導通測試时使用。

♦ 潤滑系統

在各種運動軌道加入潤滑系统，確保潤滑脂補充，提高對位平台使用的壽命及精度。

♦ 尺寸齊全適用各種機型運用

工作台面尺寸口160mm~口1500mm，为了可以對應更大的精度荷載，可藉由增加從動模组之數量来達成。

產業應用介绍

♦ 面板貼合機

♦ 面板貼膜機

♦ 網版及3D網版印刷

♦ 玻璃側角及磨邊設備

♦ Wafe對位設備

♦ P.C.D曝光設備

♦ 軟體裁切設備

♦ 半導體設備

GAS03系列

結構說明

動作原理

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