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<span style="font-size: 12pt;">★ 由XYZ三轴精密定位滑台模块,搭配一倾斜滑台模块及精密侧角形成六轴式的复合功能精密滑台组,适用于单芯对位或光导波产业应用</span> <br /><span style="font-size: 12pt;">★ 单独拆解模块选购型号 - M6E-2200B-R-[XYZ模块-MXYZ60-ACSR、倾斜滑台模块-MTR60-45R、侧角滑台模块-MXG6-50VMR]</span>">
Update:2022.7.21
型号 | M6E-2200B-R | |||||||
规 格 说 明 | 轴向 | X | Y | Z | θx | θy | θz | |
行程 | 粗调 | ± 6.5 mm | ± 6.5 mm | ± 6.5 mm | ± 3 ° | ± 3 ° | ± 4 ° | |
微调 | ± 0.3 mm | ± 0.3 mm | ± 0.3 mm | |||||
精度 | 粗调 | 10 µm | 10 µm | 10 µm | ≒ 29.3" / 刻度 | ≒ 27.8" / 刻度 | ≒ 33" / 刻度 | |
微调 | 0.5 µm | 0.5 µm | 0.5 µm |
滑台进给位置 |
滑台轨道特性说明 |
滑台主要进给方式 |