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精密アラインメント ステージ
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名前: 昇順(A to Z)
名前: 降順(Z to A)
価格: 昇順(Low to High)
価格: 降順(High to Low)
作成日
商品数
3
6
9
数/ページ
GAS00シリーズ
精密XXYアライメントステージ
★ 作業台寸法 : 160、190、200 (mm)
★ ベース寸法 : 170、210、350 (mm)
★ 機械の動作原理- 中央伝達 - 標準型、軽量型、重荷重
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAS01シリーズ
精密XXYアライメントステージ
★ 作業台寸法 : 250、350 (mm)
★ ベース寸法 : 350、450 (mm)
★機械 の動作原理- 中央伝達 - 標準型、軽量型、重荷重
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAS02シリーズ
精密XXYアライメントステージ
★ 作業台寸法 : 400、500、750 (mm)
★ ベース寸法 : 500、600、850 (mm)
★機械 の動作原理- 中央伝達 - 標準型、高剛性型
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAS03シリーズ
精密XXYアライメントステージ
★ 作業台寸法 : 1000、1500 (mm)
★ ベース寸法 : 1200、1700 (mm)
★機械 の動作原理- 中央伝達 - 標準型、高剛性型
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAU05シリーズ
精密XXYアライメントステージモジュール
★ ストローク: ±5 x ±5 (mm)
★機械 の動作原理- 中央/側面伝動-標準型、高剛性型-駆動/従動 モジュール
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAU10シリーズ
精密XXYアライメントステージモジュール
★ ストローク: ±5 x ±5 (mm)
★機械 の動作原理- 中央/側面伝動-標準型、高剛性型-駆動/従動 モジュール
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
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250X250
350X350
500X500
600X600
750X750
1000X1000
1500X1500
Load(kgf)
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30kgf~39.9kgf
60kgf~69.9kgf
70kgf以上
タイプ
Clear
All
Precision
Axis
Clear
All
θ Axis
Material
Clear
All
Dura aluminum
Carbon Steel
Surface Finish
Clear
All
Black anodized
Black Dyed
型番
Clear
All
GAS01 Series
GAS02 Series
GAS03 Series
GAU05 Series
GAU10 Series
GAU12 Series
Speical Designed XXY Alignment Stage
GAS00 Series
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