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精密アラインメント ステージ
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価格: 昇順（Low to High）
価格: 降順（High to Low）
作成日
商品数
3
6
9
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GAS00シリーズ
精密XXYアライメントステージ
★ 作業台寸法 : 160、190、200 (mm)
★ ベース寸法 : 170、210、350 (mm)
★ 機械の動作原理- 中央伝達 - 標準型、軽量型、重荷重
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAS01シリーズ
精密XXYアライメントステージ
★ 作業台寸法 : 250、350 (mm)
★ ベース寸法 : 350、450 (mm)
★機械 の動作原理- 中央伝達 - 標準型、軽量型、重荷重
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAS02シリーズ
精密XXYアライメントステージ
★ 作業台寸法 : 400、500、750 (mm)
★ ベース寸法 : 500、600、850 (mm)
★機械 の動作原理- 中央伝達 - 標準型、高剛性型
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAS03シリーズ
精密XXYアライメントステージ
★ 作業台寸法 : 1000、1500 (mm)
★ ベース寸法 : 1200、1700 (mm)
★機械 の動作原理- 中央伝達 - 標準型、高剛性型
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAU05シリーズ
精密XXYアライメントステージモジュール
★ ストローク: ±5 x ±5 (mm)
★機械 の動作原理- 中央/側面伝動-標準型、高剛性型-駆動/従動 モジュール
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
GAU10シリーズ
精密XXYアライメントステージモジュール
★ ストローク: ±5 x ±5 (mm)
★機械 の動作原理- 中央/側面伝動-標準型、高剛性型-駆動/従動 モジュール
★ 超薄型、軽量化ステージ- ステージ XYθモジュール化構造を採用し、中抜き構造で、薄型・軽量構造を実現し
★ 構成モジュールのステージ XYθ軸スライドテーブルセットの特殊クロスローラーに予圧を与え、高精度、高剛性 の構造を達成します
★ 中抜き構造に光学式検査装置や導電性測定時に使用するこ とができます
★ 各運動軌道に潤滑システムを加えて、潤滑油の補充を確保し、アライメントステージの寿命と精度を高めます
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